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产品详情
型号与行程
LPDS-20／25／30／40／60，对应行程±10／±12.5／±15／±20／±30 mm。
参数表指标
最大速度3 mm/s；重复定位精度±150 nm；垂直负载20 N；水平负载2 N。
PZT压电陶瓷驱动，光栅尺反馈，支持开环／闭环；最大驱动电压80 V。
选配说明
高精度模式重复定位可达±50 nm；细调步进1 nm、范围2500 nm。这些数值与常规重复定位精度的含义不同。
资料出处：《位移台产品手册_1023-1》印刷页P16–P19。
RESOURCES
技术与产品资料
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