SXDS 三轴探针台

纳米压电位移台

SXDS 三轴探针台

集成XYZ三轴压电运动,支持探针测试和微观定位,可配置光栅位置反馈。

DESIGNED FOR YOUR APPLICATION

产品详情

标准型号

SXDS-10:尺寸60 × 56 × 40.8 mm,总质量100 g。

采用PZT压电陶瓷驱动,最大驱动电压80 V,可选开环/闭环控制。

行程说明

纳米指南第3页列出X轴±10 mm、Y轴±10 mm、Z轴±25 mm。

总手册P28的Z轴行程单位印为角度,与指南不一致,具体Z轴规格应在订货前确认。

资料出处:《纳米位移台》第3页;《位移台产品手册_1023-1》印刷页P28。

RESOURCES

技术与产品资料

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