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产品详情
标准型号与参数
ZPDS-10：尺寸115 × 70 × 44.04 mm，总质量670 g。
运动范围±5 mm；最大速度0.5 mm/s；重复定位精度±500 nm；垂直运动负载4 N。
控制配置
PZT压电陶瓷驱动，光栅尺位置反馈；最大驱动电压80 V，支持开环／闭环。
可按需要定制高真空或无磁版本。
资料出处：《位移台产品手册_1023-1》印刷页P26。
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