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产品详情
型号与行程
XYPDS-34／100／120：X与Y轴行程分别为±17／±50／±60 mm。
参数表指标
最大速度2 mm/s；常规重复定位精度±200 nm；垂直负载20 N。
采用PZT压电陶瓷与光栅尺，最大驱动电压80 V，支持开环／闭环。
选配能力
高精度模式重复定位可达±75 nm，细调步进1 nm、范围2500 nm，可按需求提供真空版本。
资料出处：《位移台产品手册_1023-1》印刷页P20–P22。
RESOURCES
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