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产品详情
标准型号与配置
LSPDS-10：尺寸123 × 28 × 15.5 mm，总质量219 g。
采用PZT压电陶瓷和光栅反馈；支持开环／闭环，可提供真空版本。
细调步进1 nm，细调范围2500 nm；重复定位精度200 nm。
行程说明
总手册P30正文写明粗调范围±46 mm，参数表却标为±46 μm。此处不把矛盾值作为确定指标，选型时请确认实际行程。
资料出处：《位移台产品手册_1023-1》印刷页P30。
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