微米级精密定位与多轴组合

从运动任务开始

先确定样品或工具需要的平移方向、旋转中心及倾角，再绘制安装关系。多轴叠加时，上层机构、夹具、线缆和样品均计入下层轴的载荷。

负载与行程怎么选

分别列出水平、竖直及倾斜安装条件，确认重心到台面的距离和偏心力矩。有效行程应扣除工装、连接器及安全避让空间，不能只对照型号中的数字。

控制与反馈配置

按行程与速度选择传动和驱动方式；需要记录实际位置或补偿失步时，确认光栅尺与控制器闭环兼容性。接口协议、轴数、限位和回零流程须与上位机一起验证。

如何验证精度

分别约定分辨率、重复定位精度和绝对定位精度；用实际负载、安装方式和速度测量往返定位、回程误差及停稳时间。多轴组合应在末端工作点验证，不直接累加或套用单轴参数。

配置参考

适用条件与确认事项

• 分辨率不是定位精度，也不是重复定位精度。
• 额定中心负载不能直接用于偏载或竖直安装。
• 系列中不同速度、行程和负载不一定能自由组合。