纳米压电定位与探针扫描

行程和精度先分开

先定义总行程、单次步进、可接受的重复定位误差与停稳时间。毫米级粗调、微米级微动和纳米级指令分辨率是不同指标，不应仅凭“纳米”名称选型。

选择开环还是闭环

关注实际位置可重复性时，需要核对光栅反馈、控制算法、安装环境和负载。扫描时同时关注运动连续性、采样同步、迟滞、漂移及振动，不能只看静态步进值。

系统配置流程

按自由度选择线性、双轴、Z轴、三轴探针或微动台，再核对驱动电压、电缆、传感器和控制器协议。需要真空或无磁环境时，应选对应材料、润滑与线缆版本。

验收与使用

在约定的温度稳定时间和实际负载下，记录重复定位、扫描轨迹与长时间漂移。明确粗细调切换方法、限位策略和异常恢复方式。

配置参考

适用条件与确认事项

• 50nm重复定位指标仅对应资料中的特定微动台，不能推广至全系列。
• 部件标注80V时，不能直接施加控制器150V满量程输出。
• 总手册和系列指南的行程或负载冲突项应以确认后的规格书为准。